Photolithography er almindeligt brugt til at producere computerchips. Ved fremstilling af computerchips er substratmaterialet en resistbeklædt wafer af silicium. Denne proces gør det muligt at bygge hundredvis af chips samtidigt på en enkelt siliciumwafer.
Hvordan udføres fotolitografi?
Photolithography bruger tre grundlæggende procestrin til at overføre et mønster fra en maske til en wafer: coat, develop, expose. Mønstret overføres til waferens overfladelag under en efterfølgende proces. I nogle tilfælde kan resistmønsteret også bruges til at definere mønsteret for en aflejret tynd film.
Hvorfor kaldes det fotolitografi?
Semiconductor Lithography (Photolithography) - The Basic Process . Fremstillingen af et integreret kredsløb (IC) kræver en række fysiske og kemiske processer udført på et halvledersubstrat (f.eks. silicium). … Ordet litografi kommer fra det græske lithos, der betyder sten, og graphia, der betyder at skrive.
Hvorfor er litografi vigtigt?
Litografi er processen med at overføre mønstre af geometriske former i en maske til et tyndt lag af strålingsfølsomt materiale (kaldet resist), der dækker overfladen af en halvlederwafer. Figur 5.1 illustrerer skematisk den litografiske proces, der anvendes i IC-fremstilling.
Hvilken er den mest udbredte metode i litografiske metoder?
Optisklitografi er en fotonbaseret teknik, der består af at projicere et billede ind i en lysfølsom emulsion (fotoresist) coatet på et substrat såsom en siliciumwafer. Det er den mest udbredte litografiproces i halvlederindustriens højvolumenfremstilling af nanoelektronik.
