Photolithography er almindeligt brugt til at producere computerchips. Ved fremstilling af computerchips er substratmaterialet en resistbeklædt wafer af silicium. Denne proces gør det muligt at bygge hundredvis af chips samtidigt på en enkelt siliciumwafer.
Hvordan udføres fotolitografi?
Photolithography bruger tre grundlæggende procestrin til at overføre et mønster fra en maske til en wafer: coat, develop, expose. Mønstret overføres til waferens overfladelag under en efterfølgende proces. I nogle tilfælde kan resistmønsteret også bruges til at definere mønsteret for en aflejret tynd film.
Hvad er fotolitografi, og hvordan virker det?
Photolithography er en mønsterproces, hvor en lysfølsom polymer selektivt udsættes for lys gennem en maske, hvilket efterlader et latent billede i polymeren, som derefter kan opløses selektivt for at give et mønster adgang til et underliggende substrat.
Hvad er fotolitografi, og hvordan bruges det til at implementere transistorer?
Den bruger lys til at overføre et geometrisk mønster fra en fotomaske (også kaldet en optisk maske) til en lysfølsom (det vil sige lysfølsom) kemisk fotoresist på substratet. … Det giver præcis kontrol over formen og størrelsen af de objekter, det skaber, og kan skabe mønstre over en hel overflade omkostningseffektivt.
Hvorfor kaldes det fotolitografi?
Semiconductor Lithography(Photolithography) - Den grundlæggende proces . Fremstillingen af et integreret kredsløb (IC) kræver en række fysiske og kemiske processer udført på et halvledersubstrat (f.eks. silicium). … Ordet litografi kommer fra det græske lithos, der betyder sten, og graphia, der betyder at skrive.
