I tilfældet med halvlederlitografi (også kaldet fotolitografi) er vores sten silicium wafers, og vores mønstre er skrevet med en lysfølsom polymer kaldet en fotoresist.
Hvad mener du med fotolitografi?
Photolithography, også kaldet optisk litografi eller UV-litografi, er en proces, der bruges i mikrofremstilling til at mønstre dele på en tynd film eller hovedparten af et substrat (også kaldet en wafer). … Denne metode kan skabe ekstremt små mønstre, ned til et par tiere nanometer i størrelse.
Hvorfor bruges litografi i halvlederfremstilling?
Photolithography er en proces, der bruges i mikrofremstilling til at overføre geometriske mønstre til en film eller et underlag. Geometriske former og mønstre på en halvleder udgør de komplekse strukturer, der tillader dopingmidler, elektriske egenskaber og ledninger at fuldende et kredsløb og opfylde et teknologisk formål.
Hvad er formålet med fotolitografi?
Fotolitografi er en af de vigtigste og nemmeste metoder til mikrofremstilling og bruges til at skabe detaljerede mønstre i et materiale. I denne metode kan en form eller et mønster ætses gennem selektiv eksponering af en lysfølsom polymer for ultraviolet lys.
Hvad er halvlederlitografiudstyr?
Halvlederlitografiudstyr bruges i eksponeringsfasen af halvlederchippenfremstillingsproces. … Halvlederlitografiudstyr bruger en projektionslinse til at reducere kredsløbsmønsteret, som er skrevet på en original plade kaldet et sigtemiddel, og eksponere mønsteret på en wafer.